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        深圳市金徠技術有限公司

        ShenZhen City JinLai Technology Co., Ltd.

         聯系電話:13538058187 

        等離子去膠機(灰化機)

        應用范圍:

        ? · 去除光刻膠

        · 晶圓打膠

        · 濕法刻蝕前的晶圓清潔

        · 去除 SU-8

        · 清潔和表面活化

        · 化學微量分析中的低溫材料灰化

        · 過濾器和濾膜的清潔

        · 環氧樹脂去除

        等離子去膠機是深圳金徠針對小體積產品,小批量生產和實驗室晶圓處理設計,適用于晶圓級和3D封裝應用的理想設備。等離子應用包括預處理、灰化/光刻膠/聚合物剝離、有機污染去除等。


        產品規格



        型號

        JL-RR05

        JL-RR10

        JL-RR15

        高頻輸出功率

        500W

        500W

        1000W

        頻率

        13.56MHz

        13.56MHz

        13.56MHz

        檢測功能

        氣壓檢測、 門檢測

        氣壓檢測、 門檢測

        氣壓檢測、 門檢測

        真空泵

        干式真空泵

        干式真空泵

        干式真空泵

        氣體控制

        高精度質量流量計(MFC)

        高精度質量流量計(MFC)

        高精度質量流量計(MFC)

        質量流量計精度

        +/-0.2% F.S

        +/-0.2% F.S

        +/-0.2% F.S

        冷卻方式

        風冷

        風冷

        風冷

        反應腔

        石英 D160× 220 mm

        石英 D240× 260 mm

        石英 D240× 460 mm

        反應氣體

        路系統(可選)

        路系統(可選)

        路系統(可選)

        氣體流量

        0~300SCCM

        0~300SCCM

        0~500SCCM

        外形尺寸

        438× 520× 760mm

        438× 520× 760mm

        650× 650× 650mm

        重量

         60kg

         60kg

         70kg

        輸入電源

        單相 220V, 50/60Hz  8A

        單相 220V, 50/60Hz  8A

        單相 220V, 50/60Hz  8A


        應用范
         ? 去除光刻膠
         晶圓打膠
         濕法刻蝕前的晶圓清潔
         去除 SU-8
         清潔和表面活化
         化學微量分析中的低溫材料灰化
         過濾器和濾膜的清潔

        聯系方式



        詳情請撥打:135-3805-8187 電話咨詢 (微信同號)

        等離子去膠機(灰化機)
        應用范圍:

        ? · 去除光刻膠

        · 晶圓打膠

        · 濕法刻蝕前的晶圓清潔

        · 去除 SU-8

        · 清潔和表面活化

        · 化學微量分析中的低溫材料灰化

        · 過濾器和濾膜的清潔

        · 環氧樹脂去除
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